粤能许可〔2022〕299号
深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司集成电路制造线项目采用的主要技术标准和建设方案符合国家相关节能法规及节能政策的要求，原则同意该项目节能报告。
项目主要建设内容包括：建设1条12英寸集成电路芯片制造生产线，主要建构筑物包括生产厂房、研发厂房、测试车间、仓库、办公楼、动力站、制氮空压站、硅烷站、氢气站、特气站等，主要设备包括研磨机、气相沉积炉管、蚀刻机、光刻机、退火设备、清洗机、空压机、冷水机组、燃气热水锅炉、直燃炉等。项目设计年产12万片12英寸28nm集成电路晶圆。项目能耗量和主要能效指标：项目建成投产后，年综合能耗不高于116883吨标准煤（当量值），其中年电力消耗量不高于89572万千瓦时、天然气消耗量不高于464万立方米；项目集成电路晶圆制造单位产品电耗不高于1.15千瓦时/平方厘米。
本审查意见自印发之日起两年内，如项目未开工建设，自动失效。
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