粤能许可〔2022〕107号
广州市中新知识城面向半导体应用的光掩模项目采用的主要技术标准和建设方案符合国家相关节能法规及节能政策的要求，原则同意该项目节能报告。项目主要建设内容包括：建设年产48000片光掩模生产线，主要工艺包括数据处理、光刻、烘烤/显影、铬蚀刻、去胶和清洗、量测技术、缺陷检测和修补等，主要建构筑物包括厂房、综合动力站、辅助楼、开关站、临时存放点、固废库、门卫室等。项目能耗量和主要能效指标：项目建成投产后，年综合能耗不高于7534吨标准煤（当量值），其中年电力消耗量不高于6122万千瓦时；项目光掩模单位产品综合能耗不高于0.157吨标准煤/片。
本审查意见自印发之日起两年内，如项目未开工建设，自动失效。
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